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Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導(dǎo)體電子氣中|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導(dǎo)體電子氣中的應(yīng)用


我們都知道，高純氣體是集成電路、光伏、光纖等行業(yè)的重要基礎(chǔ)材料。在大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中，氣體中的氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)雜質(zhì)會(huì)對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生重要影響。由于氣體中微量氧和水的存在，高溫合成的半導(dǎo)體器件表面容易形成氧化膜，這是影響器件壽命和性能的重要因素。


例如，外延生長(zhǎng)是生產(chǎn)高質(zhì)量集成電路的重要步驟，沉積層的雜質(zhì)水平、厚度和微結(jié)構(gòu)完整性取決于沉積工藝中所用氣體的純度。當(dāng)氣體中雜質(zhì)過(guò)多時(shí)，外延層會(huì)形成“暗礁”，產(chǎn)生晶格缺陷等后果。因此，高靈敏度的氣體檢測(cè)在半導(dǎo)體制造中顯然是必要的，這樣的關(guān)鍵設(shè)備能夠國(guó)產(chǎn)化是非?？上驳?。我們也希望更多的高科技設(shè)備能夠被國(guó)產(chǎn)設(shè)備所取代，這將有助于當(dāng)?shù)匕雽?dǎo)體行業(yè)向上發(fā)展。
Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導(dǎo)體電子氣中的應(yīng)用

凈化氣體產(chǎn)品可為許多半導(dǎo)體加工設(shè)備如晶體生長(zhǎng)、外延、氧化、擴(kuò)散、CVD、MOCVD、PECVD等提供超高純度的工藝氣體。需要測(cè)量生產(chǎn)超高純氣體和電子氣體，以及低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體的制備。用于TIG軌道焊機(jī)氬氣的凈化和超高純氣體管道施工中氮?dú)獾臋z查和吹掃；需要測(cè)量?jī)艋⒘克醴治鰞x、氣相色譜儀(GC)、大氣壓離子質(zhì)譜儀(APIMS)等各種氣體分析儀器中的載氣或零點(diǎn)氣體。


Servomex微量氧分析儀DF-310E特性
非消耗性傳感器，5年保修
工廠校準(zhǔn)Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導(dǎo)體電子氣中的應(yīng)用
快速響應(yīng)，從異常工作條件中恢復(fù)的時(shí)間短。
一種儀器適用于測(cè)量各種背景氣體。
高穩(wěn)定性，每年只需校準(zhǔn)一次量程。無(wú)需定期更換已編程的測(cè)量單元。
低持有成本
檢出限低，精密度高。

Servomex微量氧分析儀DF-310E應(yīng)用條件
電源:22- 28V直流，110V交流1A(*大)或220V交流50/60Hz，*大功率35W。
零氣體:無(wú)要求
范圍氣體:工作范圍內(nèi)O2和N2的任何混合氣體


AquaVolt+的應(yīng)用
AquaVolt+為以下場(chǎng)合提供準(zhǔn)確的在線濕度監(jiān)控:
l工業(yè)生產(chǎn)中的工藝氣體
l產(chǎn)品凈化過(guò)程中不同階段產(chǎn)生的工業(yè)氣體
l氣罐填充操作
l氣動(dòng)系統(tǒng)中的儀表氣源
aquavolt+是一種焊接保護(hù)氣體，除上述應(yīng)用外，還可用于以下情況:
半導(dǎo)體生產(chǎn)
特殊氣體的應(yīng)用。
l可移動(dòng)手推車
l科學(xué)研究
工作原理:根據(jù)法拉第電解定律，AquaVolt的傳感器吸收并電解濃度為百萬(wàn)分之一(ppm)或十億分之一(ppb)的水分。方法是:所有樣品水分被覆蓋在兩個(gè)螺旋電極上的P2O5薄膜吸收。電極放在一個(gè)空玻璃管中。當(dāng)樣氣以已知流速進(jìn)入電解池時(shí)，膜將吸收所有水分分子。在電極上施加電壓后，每個(gè)水分子被電解，從而產(chǎn)生有限的電流。該電流是**的，并與吸收的水的分子量成比例。因此，這是測(cè)量樣氣中水蒸汽含量的一種準(zhǔn)確而直接的方法。
特點(diǎn):Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導(dǎo)體電子氣中的應(yīng)用
模塊化設(shè)計(jì):在一個(gè)19英寸的封裝中有一個(gè)或兩個(gè)模塊化單元。剩余空間可與安裝架靈活配置，以適應(yīng)各種氣體樣品的檢測(cè)。
可快速升級(jí)的軟件:模塊單元的軟件可通過(guò)RS232接口輕松升級(jí)。
計(jì)量單位:基于微處理器的電子電路可以顯示ppbV、ppmV、ppmW或攝氏和華氏露點(diǎn)。
五鍵用戶界面:模式/確認(rèn)鍵和簡(jiǎn)單的上、下、左、右四個(gè)鍵，使菜單操作快捷簡(jiǎn)單。
熒光顯示:明亮易讀的顯示屏可直接現(xiàn)場(chǎng)顯示數(shù)據(jù)，控制參數(shù)可現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定。
輸出可調(diào):輸出檔位可在現(xiàn)場(chǎng)靈活變換。不需要更換電子元件或觸摸內(nèi)部元件。只需通過(guò)模式/確認(rèn)鍵操作菜單，選擇輸出檔位。
流量控制:從主菜單中選擇樣氣后，微處理器自動(dòng)將流量控制器調(diào)整到適當(dāng)?shù)目刂泣c(diǎn)。
在線驗(yàn)證:通過(guò)簡(jiǎn)單的Delta流程可以方便地檢查電解槽的工作狀況。在線檢查傳感器的線性度和工作性能。實(shí)驗(yàn)室


埃登威公司我們服務(wù)的領(lǐng)域很廣泛，覆蓋了半導(dǎo)體、LED、計(jì)量院、微電子、氣體廠、鋼廠、化工等。經(jīng)過(guò)多年運(yùn)作，已經(jīng)和液化空氣集團(tuán)、普萊克斯、林德、寶鋼、亨通光導(dǎo)、上海至純科技、三安光電、梅塞爾等行業(yè)公司保持長(zhǎng)期的互信合作。

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